干涉儀是什么？

更新時(shí)間：2025-07-14

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干涉儀是通過測(cè)量光照射到物體上時(shí)產(chǎn)生的干涉現(xiàn)象來測(cè)量物體的表面形狀、折射率、尺寸等的裝置。

干擾是指多個(gè)波疊加、相互增強(qiáng)或抵消，從而產(chǎn)生新波形的現(xiàn)象。當(dāng)多個(gè)波來自同一源頭，或具有相同或相似的頻率時(shí)，干擾最為明顯。

干涉儀有多種類型，例如邁克爾遜干涉儀、馬赫-曾德爾干涉儀和斐索干涉儀。

干涉儀的主要應(yīng)用是對(duì)物體表面進(jìn)行非接觸式觀察，包括玻璃、金屬、陶瓷等平板。玻璃的例子包括智能手機(jī)的蓋玻片、液晶顯示器的玻璃、分色光學(xué)系統(tǒng)中使用的棱鏡以及半導(dǎo)體掩模基板，金屬的例子包括模具和鋁盤。

此外，它還可以測(cè)量電子設(shè)備半導(dǎo)體器件中使用的硅晶片、硬盤基板等特殊材料。射電干涉儀還用于射電望遠(yuǎn)鏡的天文觀測(cè)。

主干涉儀將光源發(fā)出的光分成兩束，一束光穿過樣品后，與另一束光發(fā)生干涉。此時(shí)，光路會(huì)根據(jù)穿過樣品的折射率和距離而變化，從而產(chǎn)生干涉條紋圖案。

通過分析這些干涉條紋的圖案，干涉儀可以測(cè)量樣品的表面形狀和透射波前形狀。干涉儀可以測(cè)量的最大尺寸為幾厘米到十幾厘米。如果樣品很大，則需要一些巧妙的技巧，例如將其切斷。

干涉儀既可以測(cè)量平面拋光表面，例如玻璃平板、晶圓和鏡子，也可以測(cè)量球面，例如光學(xué)透鏡、鋼球和塑料透鏡。此外，還有多軸干涉儀，可以在兩個(gè)或三個(gè)軸上進(jìn)行測(cè)量，從而節(jié)省空間，提高測(cè)量靈敏度。

激光掃描干涉儀還可以測(cè)量平面以外的表面，例如圓柱面。它們可用于測(cè)量玻璃、光纖端面、陶瓷、研磨金屬表面、注塑塑料等。干涉儀種類繁多，因此需要選擇適合您應(yīng)用的型號(hào)。

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